デジタルソリューション事業では、半導体材料事業の拡大に力を注ぐ。同社は半導体の回路形成に必要なフォトレジストなどを手がけており、高いシェアを持つArF(フッ化アルゴン)レジストで高シェアを維持するとともに、EUV用フォトレジストを本格的に立ち上げ、需要の取り込みを目指す。
その対策の一つとして実施するのがインプリアの完全子会社化だ。インプリアは2007年の設立以来、EUV用フォトレジストの開発に取り組み、スズ酸化物を主成分とした製品はEUV露光系で世界最高性能の解像度を達成しているという...