サムスン電子が半導体製造で回路を浮かび上がらせるエッチング(食刻)ガスとして用いられるフッ化水素の韓国製品を導入したことが明らかになった。

サムスン、SKハイニックスが相次いで内製化にメド

日本政府が2019年7月4日にフッ化水素、フォトレジスト、フッ化ポリイミドの先端素材3品目の韓国向け輸出で規制強化に踏み切ってから、わずか1カ月半後という「スピード対応」だ。サムスン向けのフッ化水素の内製化に成功したのは、韓国のソルブレインとENFテクノロジーの2社。中国から輸入した無水フッ化水素酸を純度99.999%のフッ化水素液に加工したという。

SKハイニックスも韓国製フッ化水素によるテスト加工を始める。すでに同社の中国の半導体工場では、フッ化水素を従来の日本製から中国製に切り替えたという。両社とも現時点では低価格帯の半導体生産に用いている段階だが、韓国製フッ化水素を半導体ラインに導入した際に問題が起こらないかどうかを分析し、素材成分などを調整する作業も進めている。この作業が進み次第、より高価格帯の半導体生産にも利用していく方針だ。

サムスン製の半導体生産で用いられるフッ化水素に日本製から韓国製へのシフトの動きが…(同社ホームページより)

韓国の素材産業も動き始めた。韓国のソルブレインは2019年9月末に公州工場の増設を終え、韓国産フッ化水素の生産規模を拡大する。同社は日本から輸入したフッ化水素を精製した後にサムスン電子へ供給してきた。現在は材料となるフッ化水素を、台湾と中国から輸入しているという。

輸出規制3品目のうちフッ化水素は最も内製化が容易と考えられていた。その意味では「想定の範囲内」ではある。だが、その他でも内製化の準備が着々と進んでいる。半導体露光工程で用いられる感光材のレジストは生産工程とのすり合わせが必要で、長年にわたるノウハウと数年単位の開発期間が必要なため内製化が厳しいといわれてきた。