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「堀場製作所」半導体関連のEtaMaxを買収 EVやAIの普及に対応

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写真はイメージです

エンジン計測機などの分析機器大手の堀場製作所<6856>は、半導体ウエハー(半導体集積回路の材料となる円形の薄い板)の検査装置を開発、製造する韓国のEtaMax(エタマックス)を買収した。

堀場製作所が強みとする分光技術(多数の波長の光を波長ごとに分ける技術)と、エタマックスが保有する化合物半導体ウエハー欠陥検査の知見やソフトウエア技術を融合することで、ウエハー検査装置の品ぞろえの拡充とソリューション提案力を強化する...

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