JSR、EUV用メタルレジストメーカーの米Inpriaを子会社化

JSR＜4185＞は次世代EUV（極端紫外線）用メタルレジストメーカーの米国Inpria Corporation（オレゴン州。売上高2540万円、営業利益△13億6000万円、純資産17億5000万円）の株式79％を追加取得し、子会社化すると発表した。現在21％の持ち株比率を100％に引き上げる。Inpriaの事業価値に関して約565億円で合意。半導体の微細化に伴い高解像度のEUVフォトレジスト（塗布剤）が求められる中、有望素材としてメタルレジストが期待されている。2021年10月末までに取得完了の見込み。