ブイ・テクノロジーは、半導体製造装置・検査メーカーのナノシステムソリューションズ(沖縄県うるま市。売上高17億9000万円、営業利益1億3200万円、純資産1億7100万円)の全株式を取得し子会社化することを決議した。

ナノシステムソリューションズは2004年に産業技術総合研究所の支援を得て創業したベンチャー企業。ウエハー内部や外部に発生する欠陥を高精度に素早く検査する半導体ウエハー外観検査装置、半導体製品の試作やフォトマスク製造に使われるマスクレス露光装置を主力としている。ブイ・テクノロジーは同社を傘下に取り込み、新たな柱として育成中の半導体製造関連装置事業の成長加速につなげる。

取得価額は非公表。取得予定日は2019年8月22日。