東京エレクトロンは、完全子会社で半導体製造装置に組み込むソフトウエアを開発する東京エレクトロンソフトウェア・テクノロジーズ(TELST、東京都府中市。売上高35億3000万円、営業利益1億5800万円、純資産9億4900万円)を吸収合併すると発表した。全社的に統一したソフト構築を進める。2013年4月1日付。